摘要：有研半導體材料有限公司（簡稱“有研半導體”）是我國最早從事半導體硅材料研發及產業化的單位，擁有業內最齊全的半導體硅材料產品。

作為國內唯一一家從事半導體硅材料研發、生產和銷售的央企單位，有研半導體始終以服務國家、服務社會為大局，積極響應國家戰略需求，為支撐和推動我國集成電路產業的發展做出了突出貢獻。

關鍵詞：大尺寸硅片  半導體  集成電路

背景PART 01

半導體材料作為集成電路產業中最為重要的關鍵性原材料，是信息安全保障的重要環節，與國家利益密切相關。硅片作為最主要的半導體材料，伴隨我國5G通訊、人工智能、大數據、自動駕駛、物聯網、工業自動化等新興產業的發展，需求量快速增長。但在高端集成電路用硅片領域，長期被國外企業壟斷，是制約我們集成電路產業發展的“卡脖子”問題。有研半導體積極響應國家戰略需求，承擔央企使命，加大力度創新研發，多方位產業布局，助力我國集成電路產業的發展。

責任行動PART 02

（一）人才培養打基礎

有研半導體堅持實施創新驅動戰略，把人才培養作為推動企業發展源動力。建立由總經理主管、人力資源部門牽頭、各部門領導主抓的負責機制，按照“人盡其才，才盡其用”的工作原則，建立一套適合公司發展需求的人才培養、選拔和使用的管理制度。

大力選拔年輕優秀的專業人員作為技術領軍人才，在資金、設備、機制方面給予充分保障，為其創造輕松安心的科研環境，并不定期組織去國外開展技術交流，接觸領域內最前沿技術，使其快速成長，目前公司各研發團隊負責人平均年齡不超過38歲。在培養技術領軍人才的同時，公司也把對注重加強對高技能人才的培養，從企業戰略高度，把對高技能人才的培養納入到企業人力資源總規劃中。不斷加大對高技能人才的培養力度，建立行之有效的激勵政策，使技能人才在薪酬、職稱評定、職務晉升等方面和專業人才享有同等權利。

目前公司不僅擁有順義區“梧桐工程”臨空經濟高端人才、突出貢獻中青年專家、享受政府特殊貼等各類高級人才，更培養了各類高級技能人員300余人，為公司可持續發展打下堅實的人才基礎。

（二）科技創新強合作

集成電路產業作為技術密集型的高科技行業，伴隨經濟全球化的深入與發展，科技合作趨勢日益加強。有研半導體緊密對接企業需求，與國內外相關單位加強科技合作，開展聯合攻關，對企業科技發展、創新人才培養、科技實力提升、產業升級等起到了積極的促進作用。

有研半導體研發團隊與大連理工大學等單位開展的“大尺寸硅片超精密磨削技術與裝備”項目，經過多年的聯合攻關，取得重大突破，成果整體達到國際先進水平。利用該成果制造的硅片已供應于中芯國際集成電路制造（北京）有限公司等用戶，為“中國芯”制造提供了有力支撐。該項目榮獲2019年國家技術發明二等獎。

有研半導體與日本RST公司簽訂戰略協議，雙方在技術交流和人才培養等方面不斷加強合作。日本RST公司是全球最大的再生硅片制造商，擁有雄厚的硅材料研發能力和高水平研發人才。合作兩年來，有研半導體累計派出19名中高層管理人員和4名工程技術人員前往日本進行學習交流，并在海外合作設立培養基地，啟動了“優秀工程師海外培養計劃”，簽訂長期的培訓協議。

通過國際合作，有研半導體建立了海外高層次人才和工程技術人才培養計劃，吸引招納海外高層次人才7名。同時為應對國際化需求，針對不同領域邀請相關外籍專家對技術人員進行專項培訓，進一步拓寬專業領域國際視野，國內技術研發人員水平得以快速提升。

（三）戰略布局促發展

伴隨5G通訊、人工智能、大數據等新興產業的崛起，12英寸硅片成為國際主流半導體材料。當前，國內12英寸硅片產能遠遠不能滿足國內市場需求，缺口巨大，基本依賴進口，國家信息和產業安全不能得到保障，12英寸硅片國產化問題迫在眉睫。

12英寸硅片產業資金門檻、技術門檻、市場門檻、團隊等都要求高，風險也較大。作為國內最早開展12英寸研發和產業化的國家隊，有研半導體一直將12英寸硅片這項國家戰略難題當成自身的使命，并將其與公司未來發展緊密結合在一起。

有研半導體通過多年的技術研發，成功拉制國內第1根12英寸硅單晶，在國內率先了完成55nm水平的12英寸硅片技術攻關，突破了12英寸硅單晶生長、硅片精密加工、硅片外延等關鍵技術，解決了單晶缺陷、體鐵濃度、硅片表面金屬污染、硅片表面平整度等技術難題。形成了具有自主知識產權的技術布局，在硅材料領域已經建立200余項專利和40余項標準，其中12英寸硅片有70余項專利支撐。建立了國內第一條12英寸硅片生產線，并保持中試線連續運轉，保證每年10萬片的產出，產品通過了客戶認證，為未來的產業化奠定了堅實的基礎。

履責成效PART 03

近年來，有研半導體始終把解決國家集成電路產業發展所需的關鍵半導體硅材料作為企業規劃布局的主要方向，并取得了一系列成效。

（一）產業化建設方面

在山東德州布局的“8英寸硅片項目”已于2019年3月開工建設，2020年9月實現規模化生產，全力保障我國集成電路用8英寸硅片的需求。作為戰略布局的12英寸硅片項目，經過多次協商，有研集團、日本RST公司和山東德州市政府達成戰略合作協議，在山東德州8英寸項目的基礎上共同推進12英寸硅片國產化，項目已完成籌備，進入建設階段。

有研半導體8英寸和12英寸硅片項目對完善我國硅材料產業布局具有重要的戰略意義，標志著我國半導體硅片產業整體技術水平邁上了一個新臺階。兩個項目的建設不僅擺脫大尺寸硅片長期依賴進口的局面，緩解了國內大尺寸硅片供給側的壓力，更將帶動我國多晶硅材料、石英、特殊氣體、電子化學品、設備、芯片制造等上下游產業的發展，是對我國集成電路產業鏈的有力補充，給我國集成電路產業的發展注入一針“強心劑”。

同時，借助日本RST公司的國際背景，打入全球集成電路產業供應鏈中，參與國際競爭，全力打造大尺寸硅片的國產化自主品牌，對提高國內集成電路企業在國際的話語權，提升國內集成電路產業在國際上的地位具有重要的推動和促進作用。

（二）科技創新方面

有研半導體立足自主創新，聯合國內力量，利用國際資源，重點開展硅及硅基材料技術開發與創新，生產工藝升級，提升公司產品競爭力。

完成了國家科技重大專項《極大規模集成電路制造裝備及成套工藝》中“硅材料設備應用工程”、“200mm硅拋光片產品技術開發和產業化能力提升”、“90nm/300mm硅片產品競爭力提升與產業化”的驗收；以自有12英寸硅片工藝為基礎，牽頭組織國內多家半導體設備廠商完成了國產12英寸硅單晶爐、磨削機、多線切割機、雙面拋光機、單面拋光機、退火爐的研制和驗證，相關設備已應用在實際生產中；開展國家重點研發計劃“超高純稀有金屬材料精密制備技術”課題的研究，確定大規格高純硅單晶生長工藝，研發尺寸＞φ300mm，純度≥9N 的超純硅單晶環和多孔電極；開發大單晶硅及其深加工產品、8英寸硅拋光片、區熔硅單晶及拋光片等高端產品，繼續擴大優勢產品生產規模，優化產業結構，切實增強市場競爭能力和抗風險能力。

通過國際合作，加快了精密加工工藝流程的設計及硅部件精密加工研發平臺的建設，突破了多項關鍵技術難題。

（三）經濟及社會效益方面

近年來，中美貿易摩擦嚴重，在復雜艱難的國際環境下，有研半導體積極承擔央企使命，全力保障國內集成電路產業需要，并最終實現銷售和盈利目標。有研半導體作為業內唯一一家央企，在行業內樹立了標桿形象，是半導體行業協會支撐分會理事長單位，中國有色金屬學會半導體材料學術委員會掛靠單位，業內唯一一家集國家企業技術中心、國家半導體材料工程研究中心、國家技術創新示范企業為一身的企業。公司2016-2018年連續三年獲得中國半導體行業協會評選的“中國半導體十強企業”。

展望PART 04

當前，我國經濟已由高速增長階段轉向高質量發展階段。面對錯綜復雜的國際環境，中國集成電路產業既面臨著千載難逢的歷史機遇，又面臨著差距拉大的嚴峻挑戰。

有研半導體作為央企一份子，始終以“思國之需 解國之憂”為根本出發點，時刻牢記國家賦予的歷史使命，堅持創新驅動發展戰略，扎根集成電路用大尺寸硅材料領域，潛心研究，為我國集成電路產業的發展提供有力的基礎支撐，爭當新時代創新驅動發展的排頭兵。

【責任編輯：李沐霖】