兵器工業(yè)集團突破中大尺寸非球面光學(xué)元件數(shù)控拋光難題

　　中國兵器工業(yè)集團公司所屬長春工藝設(shè)備研究所承擔(dān)的“十五”支撐技術(shù)預(yù)研項目“Φ500mm中大口徑非球面光學(xué)元件小工具數(shù)控拋光技術(shù)”日前通過成果鑒定。

　　該項目開發(fā)了Φ500mm中大口徑非球面光學(xué)元件五軸四聯(lián)動數(shù)控拋光機床和光學(xué)表面拋光工藝軟件，建立了非球面拋光加工工藝數(shù)據(jù)庫。機床采用無間隙傳動和高精度氣動系統(tǒng)控制，保證了小工具拋光過程的運行穩(wěn)定性，實現(xiàn)了精確定量加工。該成果可用于方形對角線≤650mm、圓形≤Φ500mm非球面光學(xué)元件拋光加工。加工面形精度：PV值≤λ/5，均方根值≤λ/30；表面粗糙度Rq≤1.2nm；加工效率比傳統(tǒng)拋光方法提高3～5倍。該項目整體技術(shù)水平處于國內(nèi)領(lǐng)先，在中大尺寸非球面光學(xué)元件數(shù)控拋光工藝的工程化方面達(dá)到國際先進(jìn)水平。