兵器裝備集團成功研制磁控濺射鍍膜機填補國內空白
兵器裝備集團成功研制磁控濺射鍍膜機填補國內空白

文章來源:中國兵器裝備集團公司 發布時間:2008-11-07
近日,中國兵器裝備集團公司成功研制出國內首套磁控濺射鍍膜機,填補了該項目國內空白,實現了高精度濺射鍍膜機的國產化,滿足我國當前大批量、穩定鍍制多種高品質精密光學薄膜的需求,為我國今后一段時期的鍍膜機研發提供了方向。該機型由集團公司自主研制生產,具有完全自主知識產權,其技術水平處于國內領先,創造了國內鍍膜機研制的4個第一次:第一次采用磁控濺射和電子蒸鍍兩套鍍膜系統,將蒸鍍技術與濺射技術在一臺機器上實現成功覆蓋,在國內首次具備了蒸鍍和濺射兩種功能為一體的兩用機型,減少了設備的采購成本和能源消耗;第一次在真空室的設計上采用雙真空室,有利于提高工作效率、保護靶材和節能降耗;第一次運用了分子泵技術,使極限真空實現一次性達標;在控制部分第一次采用工控機控制,提高了設備的自動化程度,避免了人為因素造成的失誤。