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        我國首條非硅微機電中試生產線在兵器工業(yè)集團獲突破

        文章來源:中國兵器工業(yè)集團公司  發(fā)布時間:2008-12-12

          近日,從我國首條非硅微機電中試生產線的誕生地——中國兵器工業(yè)集團山西北方惠豐機電有限公司傳來喜訊,在該公司和西安機電信息研究所、北京理工大學、上海交通大學等院所的強強聯(lián)合下,經(jīng)過了廣大科技人員歷時3個多月的工藝開發(fā),試制工作取得了階段性突破,通過采用非納米技術和國際尖端的三維半導體微細加工工藝,生產出了產品樣品,填補了國內空白。

          微機電系統(tǒng)是微米大小的機械系統(tǒng),包括不同形狀的三維平板印刷產生的系統(tǒng),屬于國內領先、國際一流的高新技術項目。非硅微機電中試生產線為國家專項投資,于2006年奠基,2007年竣工。

          據(jù)悉,此次生產試制出的樣品與原部件相比體積縮小了七分之一,尺寸和精度均達到了設計要求,替代了傳統(tǒng)的機械部件,創(chuàng)新了設計思路和加工方法,實現(xiàn)了工藝創(chuàng)新的新跨越、新突破。同時,該項技術還可拓展到產品制造、汽車安全、生物醫(yī)學等領域的高端制造,市場前景和經(jīng)濟效益十分看好,是兵器工業(yè)集團惠豐公司走出“紅海”、超越“藍海”、駛向“深海”的創(chuàng)新實踐。

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