日前，中國機械工業集團公司所屬沈陽儀表科學研究院（沈陽儀表院）自主研發的“MEMS硅基壓力敏感芯片批產工藝技術”項目科研成果經專家鑒定，達到了國內領先、國際先進水平，填補了我國自主批量生產硅基壓力敏感芯片的空白。

　　作為壓力傳感器的核心部件，MEMS硅基壓力敏感芯片是決定壓力傳感器性能的關鍵。該項目建立了國內惟一一條具有自主產權的、采用MEMS工藝批量生產硅基壓力敏感芯片的生產線，年產能為150萬只芯片，并同步完成批產工藝規范及產品企業標準的制定工作。該產品不僅替代進口，還配套量產了多類硅基壓力傳感器，可廣泛用于航空航天、石油化工、水電、冶金制造、醫藥衛生、食品加工及城市給排水等領域，取得了良好的經濟效益和社會效益，累計新增產值3500多萬元。