中國機械工業集團公司所屬沈陽儀表院“高性能硅電容差壓傳感器”項目日前順利通過驗收。該項目是沈陽儀表院承擔的2007年度企業技術創新計劃項目。該項目開發了一種適用于智能工業變送器用硅電容差壓傳感器的設計和工藝技術，在硅電容核心結構設計、電容封裝工藝及傳感器封裝結構方面有創新，有效地解決了硅電容傳感器研制的工藝裝備難題。該項目完成后，將實現年產10萬只傳感器芯片，1.5萬臺傳感器的生產能力，年產值達1000萬元，產品可廣泛應用于航空、航天、石油化工、能源電力、冶金、機械、電子、環保等各個領域。