近日，中國機械工業集團公司（簡稱國機集團）所屬沈陽儀表院 “12英寸IC專用芯片劃片工藝裝備研制”通過了科技成果鑒定。 項目研制出了國內首臺全自動、龍門式12英吋砂輪劃片機。最高累積步進精度可達2μm/310mm，主軸最高轉速41000r/min。申請國家發明專利3項以上，實用新型專利4項以上，取得了一批具有自主知識產權的研究成果，填補了國內空白，整體技術水平達到國際先進水平，形成了相應技術規范和標準。項目的研發成功為提升我國IC（集成電路）裝備的技術水平檔次、提高國內外市場的競爭力和市場占有率，滿足我國IC裝備需求將起到重要的推進作用。