中國電子科技集團公司（簡稱中國電科）48所抓住國家IC產業發展機遇，充分利用“十五”期間積淀的技術基礎、搭建的研發平臺，于2008年、2011年先后承擔了02專項90-65nm大角度中束流離子注入機和45-22nm低能大束流離子注入機研發與產業化項目。

　　90-65nm大角度中束流離子注入機項目進展平穩順利

　　β機于2010年11月進入中芯國際北京生產線，2011年完成成套工藝小批量產品流片與馬拉松測試。2012年，通過功能改進及售后服務質量提升，先后進行的性能測試表明：0.16um的顆粒在20個/片以下，達到用戶的要求；生產效率接近主流設備水平；氣態離子源使用達到600小時?；诠に嚋y試的良好表現，中芯國際進行了小批量商用產品試生產，結果顯示：該設備滿足大生產線90-65nm工藝要求，能較好地完成產品的生產。

　　研發過程中，項目團隊申請發明專利103項，授權4項。目前，48所已與中芯國際工廠初步達成多機臺銷售意向，并正與國內幾家知名半導體廠家進行銷售洽談。

　　48所將繼續優化軟件系統，提高軟件可靠性；完成項目驗收資料整理與齊套；致力于市場拓展，確保項目產業化目標的圓滿完成；加強加大研發人員的建設與鍛煉，建設一支新型的團隊。

　　45-22nm低能大束流離子注入機項目進展有序有為

　　2011年，48所制定了低能大束流離子注入機整機研發方案，細化各節點目標及計劃，完成關鍵技術寬帶束離子源系統搭建，進行寬帶束離子源參數測試。2012年3月完成光路設計及驗證，并通過專家評審。目前，項目已完成α機整機分系統方案設計，正處于整機零部件設計、采購與加工階段。

　　項目研發過程中，研發團隊結合創新情況，已申請專利3項。2012年底，48所將在完成 α機整機安裝集成的同時，進一步完善項目管理和質量控制體系，充分利用多年積累的技術優勢和研發經驗，為項目的成功研制奠定基礎。近日，48所離子注入機團隊在中國電科第二屆科技與創新大會榮獲“科技與創新大會創新團隊”表彰。

　　中國電科48所將繼續弘揚“敢于挑戰、勇于創新、甘于奉獻”的精神風貌，持續加強攻關力度，不斷提高創新能力，嚴格按照項目節點要求，高效推動項目進展，力爭實現離子注入裝備系列高端產品的國產化與產業化。