日前，中國(guó)機(jī)械工業(yè)集團(tuán)公司所屬沈陽(yáng)儀表科學(xué)研究院（沈陽(yáng)儀表院）自主研發(fā)的“MEMS硅基壓力敏感芯片批產(chǎn)工藝技術(shù)”項(xiàng)目科研成果經(jīng)專(zhuān)家鑒定，達(dá)到了國(guó)內(nèi)領(lǐng)先、國(guó)際先進(jìn)水平，填補(bǔ)了我國(guó)自主批量生產(chǎn)硅基壓力敏感芯片的空白。

　　作為壓力傳感器的核心部件，MEMS硅基壓力敏感芯片是決定壓力傳感器性能的關(guān)鍵。該項(xiàng)目建立了國(guó)內(nèi)惟一一條具有自主產(chǎn)權(quán)的、采用MEMS工藝批量生產(chǎn)硅基壓力敏感芯片的生產(chǎn)線(xiàn)，年產(chǎn)能為150萬(wàn)只芯片，并同步完成批產(chǎn)工藝規(guī)范及產(chǎn)品企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的制定工作。該產(chǎn)品不僅替代進(jìn)口，還配套量產(chǎn)了多類(lèi)硅基壓力傳感器，可廣泛用于航空航天、石油化工、水電、冶金制造、醫(yī)藥衛(wèi)生、食品加工及城市給排水等領(lǐng)域，取得了良好的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益，累計(jì)新增產(chǎn)值3500多萬(wàn)元。