中國(guó)機(jī)械工業(yè)集團(tuán)公司所屬沈陽(yáng)儀表院“高性能硅電容差壓傳感器”項(xiàng)目日前順利通過(guò)驗(yàn)收。該項(xiàng)目是沈陽(yáng)儀表院承擔(dān)的2007年度企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新計(jì)劃項(xiàng)目。該項(xiàng)目開(kāi)發(fā)了一種適用于智能工業(yè)變送器用硅電容差壓傳感器的設(shè)計(jì)和工藝技術(shù)，在硅電容核心結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、電容封裝工藝及傳感器封裝結(jié)構(gòu)方面有創(chuàng)新，有效地解決了硅電容傳感器研制的工藝裝備難題。該項(xiàng)目完成后，將實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)10萬(wàn)只傳感器芯片，1.5萬(wàn)臺(tái)傳感器的生產(chǎn)能力，年產(chǎn)值達(dá)1000萬(wàn)元，產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于航空、航天、石油化工、能源電力、冶金、機(jī)械、電子、環(huán)保等各個(gè)領(lǐng)域。