近日，中國電子科技集團公司(簡稱中國電科)承擔的國家重大科技專項——— 極大規模集成電路制造裝備與成套工藝專項課題之一的300mm多線切割機研制成功。該設備具有完全自主知識產權。該設備的研制成功，打破了國內生產線上運行的12英寸多線切割機全部為進口設備的現狀。

　　這個項目是由中國電科自行設計、配套，攻克了衡張力控制、工件臺精密運動、切割均勻性及表面切割質量等關鍵技術，克服了斷線、移動臂移動失位、鋼絲帶不進砂漿等實際問題，研制成功的實用化機型能夠一次切割出400多片滿足生產線要求的12英寸硅片。

　　該項技術已向太陽能硅材料加工領域延伸。300mm多線切割機技術應用到太陽能電池行業，可一次性切割156mm×156mm的硅片5000～6000片。目前中國電科已與國際大型太陽能硅片企業簽訂戰略合作協議，進行多功位線鋸的研發，2011年6月前后將完成商業機型的生產線工藝驗收。

　　中國電科已經初步形成了601太陽能多線切割機、300mm多線切割機等系列化的多線切割設備，占據了國內線切割技術的制高點，滿足了不同行業、不同規模客戶的不同需要。