中色(寧夏)東方集團(tuán)極大規(guī)模集成電路濺射靶材項(xiàng)目技術(shù)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平
中色(寧夏)東方集團(tuán)極大規(guī)模集成電路濺射靶材項(xiàng)目技術(shù)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平

文章來(lái)源:寧夏國(guó)資委 發(fā)布時(shí)間:2013-11-20
近期,中色(寧夏)東方集團(tuán)研發(fā)的《極大規(guī)模集成電路300mm硅片工藝用濺射靶材研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化》項(xiàng)目,經(jīng)中國(guó)有色金屬工業(yè)協(xié)會(huì)鑒定,整體技術(shù)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。該項(xiàng)目打破了發(fā)達(dá)國(guó)家對(duì)集成電路用高端靶材的壟斷,建立了我國(guó)民族半導(dǎo)體工業(yè)的特色產(chǎn)業(yè)鏈,對(duì)推動(dòng)和發(fā)展我國(guó)電子信息及相關(guān)產(chǎn)業(yè)的技術(shù)進(jìn)步和產(chǎn)業(yè)安全起到了重要作用。