日前，由上海電氣集團(tuán)股份有限公司（簡稱“上海電氣”）下屬上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司自主研發(fā)的具有世界先進(jìn)水平的首臺平板顯示6代投影曝光機(jī)正式發(fā)運(yùn)。這對我國的平板顯示制造產(chǎn)業(yè)及裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展都有重大意義。

長期以來，我國平板顯示制造的中高端設(shè)備主要依靠進(jìn)口，特別是投影曝光機(jī)。全球僅日本的尼康公司和佳能公司掌握了這一技術(shù)。上微6代投影曝光機(jī)的成功開發(fā)，將徹底打破這一現(xiàn)狀。

應(yīng)用于平板顯示制造的投影曝光機(jī)極為復(fù)雜。該產(chǎn)品需要在1500mm×1850mm的區(qū)域內(nèi)制作只有五十分之一頭發(fā)直徑的線條，且每根線條的位置精度要控制在一百五十分之一頭發(fā)直徑以內(nèi)。上微用系統(tǒng)工程管理思想和方法來組織推進(jìn)投影曝光機(jī)項(xiàng)目實(shí)施，堅(jiān)持用產(chǎn)品化、工程化思想來進(jìn)行產(chǎn)品研發(fā)，成功突破了投影曝光機(jī)的系統(tǒng)多、技術(shù)復(fù)雜性強(qiáng)、專利壁壘多等難題，成為全球第三家具備量產(chǎn)6代投影曝光機(jī)能力的公司，有力提升了我國高精密零件制造能力。