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應(yīng)用于IC芯片的微細(xì)磨切加工工具性能要求極其苛刻，我國(guó)傳統(tǒng)生產(chǎn)工藝和技術(shù)裝備制備的磨具存在自銳性差、加工效率低、加工質(zhì)量差、使用壽命短等問(wèn)題。該類(lèi)產(chǎn)品市場(chǎng)長(zhǎng)期被發(fā)達(dá)國(guó)家所壟斷，很大程度制約了我國(guó)電子信息領(lǐng)域產(chǎn)品的快速更新與發(fā)展。

國(guó)機(jī)集團(tuán)所屬鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司聯(lián)合國(guó)內(nèi)相關(guān)高校、行業(yè)骨干企業(yè)開(kāi)展聯(lián)合攻關(guān)，在國(guó)內(nèi)首創(chuàng)了IC芯片高效精密微細(xì)加工用系列金剛石磨具成套制備技術(shù)，并實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化，取得了多項(xiàng)創(chuàng)新成果。一是建立了橋接界面調(diào)控理論，提出多相復(fù)合結(jié)合劑協(xié)同增效配方設(shè)計(jì)機(jī)理，改善金剛石/結(jié)合劑界面結(jié)合性能，解決了單一結(jié)合劑金剛石磨具耐磨性與自銳性不能兼顧的難題。二是首創(chuàng)了超薄切割砂輪的近凈精密成型技術(shù)和端面、內(nèi)外圓無(wú)變形精密后加工處理技術(shù)，提高了切割砂輪的形位精度。三是開(kāi)發(fā)了原位同步自蔓延燒結(jié)和基于微波原理的交叉噴淋-微波熱解組合技術(shù)，提升了IC芯片磨切加工工具和專用配套工裝的結(jié)構(gòu)均勻性和生產(chǎn)效率，保障了加工質(zhì)量。四是建立了超薄、精密金剛石磨具質(zhì)量評(píng)價(jià)體系和方法，解決了傳統(tǒng)測(cè)量方法易于引起超薄砂輪工作層變形及損壞等問(wèn)題，建立了相應(yīng)的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。

本項(xiàng)目獲得授權(quán)發(fā)明專利10項(xiàng)，主持或參與制定國(guó)家和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)8項(xiàng)。經(jīng)國(guó)家磨料磨具質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心檢測(cè)，項(xiàng)目產(chǎn)品各項(xiàng)指標(biāo)及使用性能均達(dá)到或超過(guò)國(guó)外同類(lèi)產(chǎn)品先進(jìn)水平。項(xiàng)目已建成年產(chǎn)值16億元的生產(chǎn)線，近三年取得直接經(jīng)濟(jì)效益25億元，每年可為數(shù)百家用戶創(chuàng)造效益160多億元。項(xiàng)目成果打破了發(fā)達(dá)國(guó)家在高效精密金剛石磨具制造技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)壟斷，結(jié)束了我國(guó)高、精、尖、專等高檔超硬材料制品依靠進(jìn)口的歷史。（國(guó)機(jī)集團(tuán)供稿）

附圖：IC芯片高效精密微細(xì)加工用系列金剛石磨具技術(shù)路線圖