應用于IC芯片的微細磨切加工工具性能要求極其苛刻，我國傳統(tǒng)生產(chǎn)工藝和技術(shù)裝備制備的磨具存在自銳性差、加工效率低、加工質(zhì)量差、使用壽命短等問題。該類產(chǎn)品市場長期被發(fā)達國家所壟斷，很大程度制約了我國電子信息領(lǐng)域產(chǎn)品的快速更新與發(fā)展。

國機集團所屬鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司聯(lián)合國內(nèi)相關(guān)高校、行業(yè)骨干企業(yè)開展聯(lián)合攻關(guān)，在國內(nèi)首創(chuàng)了IC芯片高效精密微細加工用系列金剛石磨具成套制備技術(shù)，并實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化，取得了多項創(chuàng)新成果。一是建立了橋接界面調(diào)控理論，提出多相復合結(jié)合劑協(xié)同增效配方設(shè)計機理，改善金剛石/結(jié)合劑界面結(jié)合性能，解決了單一結(jié)合劑金剛石磨具耐磨性與自銳性不能兼顧的難題。二是首創(chuàng)了超薄切割砂輪的近凈精密成型技術(shù)和端面、內(nèi)外圓無變形精密后加工處理技術(shù)，提高了切割砂輪的形位精度。三是開發(fā)了原位同步自蔓延燒結(jié)和基于微波原理的交叉噴淋-微波熱解組合技術(shù)，提升了IC芯片磨切加工工具和專用配套工裝的結(jié)構(gòu)均勻性和生產(chǎn)效率，保障了加工質(zhì)量。四是建立了超薄、精密金剛石磨具質(zhì)量評價體系和方法，解決了傳統(tǒng)測量方法易于引起超薄砂輪工作層變形及損壞等問題，建立了相應的技術(shù)標準。

本項目獲得授權(quán)發(fā)明專利10項，主持或參與制定國家和行業(yè)標準8項。經(jīng)國家磨料磨具質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心檢測，項目產(chǎn)品各項指標及使用性能均達到或超過國外同類產(chǎn)品先進水平。項目已建成年產(chǎn)值16億元的生產(chǎn)線，近三年取得直接經(jīng)濟效益25億元，每年可為數(shù)百家用戶創(chuàng)造效益160多億元。項目成果打破了發(fā)達國家在高效精密金剛石磨具制造技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)壟斷，結(jié)束了我國高、精、尖、專等高檔超硬材料制品依靠進口的歷史。（國機集團供稿）

附圖：IC芯片高效精密微細加工用系列金剛石磨具技術(shù)路線圖